Thông s? k? thu?t

Bàn xoay

• • ?? xoay chính xác (h??ng tâm): {(0.02+3.5H/10000)µm}
  • ?? xoay chính xác (quanh tr?c): {(0.02+3.5X/10000)µm}

H: Chi?u cao l?y m?u (mm), X: Kho?ng cách t? tr?c bàn xoay (mm)

• T?c ?? quay:

  2, 4, 6, 10rpm (20rpm: t? ??ng ??nh tâm)
• ???ng kính bàn quay:

  ø 11.8″ (300mm)
• Ph?m vi ??nh tâm:

  ±5mm
• Ph?m vi san b?ng:

  ±1°
• ???ng kính l?y m?u t?i ?a: ø 15.7″ (400mm)
• ???ng kính phôi t?i ?a: ø 26.8″ (680mm)
• Tr?ng l??ng phôi t?i ?a:

  176 lbs (80kg)
  143 lbs (65kg): t? ??ng ??nh tâm

Tr?c máy d?c (Tr?c Z)

• Hành trình d?c:

  13.8″ (350mm), (21.7″ (550mm): mã AH)
• ?? th?ng (?c2.5):

  0.05µm / 100mm, 0.14µm / 350mm
  (0.2µm / 550mm: mã AH)
• ?? song song v?i tr?c quay

  0.2µm / 350mm
  (0.32µm / 550mm: mã AH)
• T?c ?? ??nh v?:

  Max. 60mm/s
• T?c ?? ?o:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• Chi?u cao l?y m?u t?i ?a:

  13.8″ (350mm) (OD / ID)
  [21.7″ (550mm) (OD / ID): mã AH
• Chi?u sâu l?y m?u t?i ?a:

  l?n h?n ø32: 85mm (v?i ??u ?o tiêu chu?n)
  l?n h?n ø7: 50mm (v?i ??u ?o tiêu chu?n)

Tr?c ngang (Tr?c X))

• Hành trình ngang:

  8.9″ (225mm)
• ?? th?ng (?c2.5): 0.4µm / 200mm
  ?? vuông v?i tr?c xoay: 0.5µm / 200mm
• T?c ?? ??nh v?:

  Max. 50mm/s
• T?c ?? ?o:

  0.5, 1, 2, 5mm/s

??u dò và ??u ?o

• D?i ?o

  ±400µm (±5mm: ph?m vi theo dõi)
• L?c ?o

  10mN~50mN (trong 5 b??c)
• ??u ?o tiêu chu?n:

  12AAL021,??u bi cacbua, ø1.6mm
• H??ng ?o: Hai h??ng
• ?i?u ch?nh góc ??u ?o: ±45° (v?i v?ch chia)

Thi?t b? phân tích d? li?u:

• Ph?n m?m phân tích:

  Roundpak
• Lo?i b? l?c:
• 2CRPC-75%, 2CRPC-50%, 2CR-75% (không có giai ?o?n s?a ch?a), 2CR-50% (không có giai ?o?n s?a ch?a), Gaussian, b? l?c OFF
• Giá tr? ?i?m ng?t;
• 15upr, 50upr, 150upr, 500upr, 1500upr, 15-150upr, 15-500upr, 15-1500upr, 50-500upr, 50- 1500upr, 150-1500upr, Thi?t l?p b?ng tay
• Vòng tròn tham chi?u ?? ?ánh giá ?? tròn:
• LSC, MZC, MIC, MCC

Áp l?c khí:

• Áp l?c khí:

  390kPa (4kgf/cm2)
• M?c tiêu th? khí:

  45L/min

• Ngu?n c?p

  100V AC – 240V AC, 50/60Hz
• Kh?i l??ng:

  Máy chính: 1433lbs. (650kg)
  1477lbs. (670kg): mã AH
• B? tách rung:

  375 lbs (170kg)